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J-GLOBAL ID：200903059619216067

低真空雰囲気型走査電子顕微鏡

Inventor： 伊東 祐博 ,  赤津 光男 ,  雪田 憲史 ,  鈴木 宏征
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996191772
Publication number (International publication number)：1998040850
Application date： Jul. 22, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】低真空雰囲気での観察で、電子銃室を高真空に保ったまま、オリフィス径を大きくしビーム電流を大きくする。もしくは従来と同じオリフィス径とそれを有する排気系の場合、低真空雰囲気での観察で、より高い試料室圧力での観察を可能にする、または電子銃フィラメントの寿命を長くする。【解決手段】対物レンズ7と収束レンズ4,5の間に中間室8を設け、中間室8を排気する配管を電子銃部2からの主配管と別に設けて排気ポンプ22の引口の近くで接続する低真空雰囲気型走査電子顕微鏡。

Claim (excerpt)：

対物レンズと収束レンズの間に中間室を設け、上記中間室を排気する配管を電子銃部からの主配管と別に設けて排気ポンプ引口の近くで接続するように構成したことを特徴とする低真空雰囲気型走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/18

FI (2)：

H01J 37/28 Z ,  H01J 37/18