Pat
J-GLOBAL ID：200903059621922483
カラーフィルタの残査除去方法および装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
白井 博樹 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992044430
Publication number (International publication number)：1993241010
Application date： Mar. 02, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】着色層形成用感材の残査を確実に除去すると共にその再付着を防止する。【構成】着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光および現像して形成されるカラーフィルタの製造において、基板1の搬送方向に直角に配設される液貯留部20に、高圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部20内に気泡を発生させ、液貯留部20と基板1との隙間から流出させ、気泡の破裂と液の流速により基板1上に残留する着色層形成用感材の残査を除去する。
Claim (excerpt)：
着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光および現像して形成されるカラーフィルタの製造において、基板の搬送方向に直角に配設される液貯留部に、高圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部内に気泡を発生させ、これを液貯留部と基板との隙間から流出させ、気泡の破裂と液の流速により基板上に残留する着色層形成用感材の残査を除去することを特徴とするカラーフィルタの残査除去方法。
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
