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J-GLOBAL ID：200903059624569490
荷電粒子ビーム装置の非点補正方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996030594
Publication number (International publication number)：1997223476
Application date： Feb. 19, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：
【要約】【目的】 荷電粒子ビームの非点補正を簡単に自動的に行うことができる荷電粒子ビームの非点補正方法を実現する。【構成】 異なった非点補正値をセットするごとに電子ビームEBの走査をX,Y方向で行い、各々の方向で得られた検出信号を微分して波形メモリー15に記憶する。コンピュータ5は、各走査方向で微分波形の波高値がピークとなるように、対物レンズ制御ユニット6を制御し、対物レンズ3へのレンズ値を変化させる。このとき得られた、各走査方向での波高値のピーク値、およびそのときのレンズ値は、与えられた非点補正値とともにコンピュータに記憶される。非点補正値はあらかじめ指定した範囲で変化するので、各非点補正値で前述のピーク値およびレンズ値が得られる。ここで、X方向とY方向のレンズ値が一致する非点補正値aと、微分波形の波高値のピークが最も大きくなる非点補正値bが求められる。最適非点補正値は(a+b)/2として、非点補正器に設定される。
Claim (excerpt)：
第1の方向と第1の方向と直交する第2の方向に走査する荷電粒子ビームの第1および第2の方向の非点補正を行うための非点補正器に対し、異なった複数の非点補正値をセットし、各非点補正値ごとに集束レンズによって荷電粒子ビームのフォーカス合わせを行い、各非点補正値ごとに各走査方向でフォーカスが合ったときのレンズ値を各々記憶すると共に、各非点補正値ごとに試料上で荷電粒子ビームを走査し、走査に応じて試料から得られた信号を微分し、フォーカスが合ったときの微分波形の波高値を記憶し、記憶された両走査方向のレンズ値変化から両者が一致するレンズ値に対応した非点補正値aを求め、微分波形の波高値の変化から波高値のピークが得られたときの非点補正値bを求め、非点補正器に(a+b)/2の非点補正値をセットするようにした荷電粒子ビームの非点補正方法。
FI (2)：
H01J 37/153 B
, H01J 37/153 Z
