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J-GLOBAL ID：200903059626046282

インクジェット式記録ヘッド

Inventor： 金井 史幸 ,  古田 達雄 ,  小林 淳 ,  細川 比呂志 ,  酒井 真理
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 木村 勝彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993291187
Publication number (International publication number)：1995096605
Application date： Oct. 27, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 珪素の結晶性基板をエッチングしてスペーサを構成したインクジェット式プリンタのスペーサを形成すること。【構成】 ノズル開口2aを有するノズルプレート2と、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバを区画する隔壁を備えたスペーサ1と、板部材3とをサンドイッチ状に固定し、板部材3を圧電振動子4により変位させてインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘッドであって、スペーサ1は、シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより圧力発生室、インク供給口、及びリザーバが互い連通する貫通孔1a、1b、1cとして形成する。このため、各貫通孔に対するエッチング条件が同一となり、特に圧力発生室、インク供給口のように断面積が小さな貫通孔1a、1bを高い精度で形成できる。

Claim (excerpt)：

インク滴を噴射するノズル開口を備えたノズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバを区画する隔壁を備えたスペーサと、前記ノズルプートに対向して前記スペーサの他面に固定される板部材とをサンドイッチ状に固定するとともに、前記圧力発生室にインク滴を形成するのに適した圧力変化を与える圧力発生手段とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記スペーサは、珪素の結晶性基板または酸化珪素の結晶性基板を両面からエッチングすることにより前記圧力発生室、インク供給口、及びリザーバが互いに連通する貫通孔として構成され、前記圧力発生室及びインク供給口を区画する隔壁がノズル開口側で本体に接続され、また前記リザーバ側が自由端となる片持梁状に形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (2)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-286651
  
• 特開平3-253346
  
• 特開昭54-150127