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J-GLOBAL ID：200903059634861076
表面検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993010481
Publication number (International publication number)：1994221837
Application date： Jan. 26, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】簡単な構成で高精度の検査を行うことができる表面検査装置を得ること。【構成】検査対象物2のレーザ光走査面と集光レンズ8との間のレーザ光路上に、音響光学素子4を設ける。
Claim (excerpt)：
光走査装置から照射されたレーザ光を検査対象物の表面に走査し、この検査対象物の表面で反射されたレーザ光を集光レンズで集光し光電変換器に入射する表面検査装置において、前記検査対象物と前記集光レンズの間に音響光学偏光器を介在させたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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