Pat
J-GLOBAL ID：200903059643727129
X線検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169866
Publication number (International publication number)：2001004559
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：
【要約】【課題】 新規構成で試料映像の拡大、縮小を実施する。【解決手段】 コントローラ7により電子ビーム偏向手段8を制御し当該電子ビーム偏向手段8により、ターゲット11に向かう電子45をX線出射窓9aに対して接離する第1方向Aに偏向し電子45のターゲット11での衝突位置を第1方向Aに移動して当該衝突位置と試料1、X線撮像装置4との間のX線路長を変えることで、X線撮像装置4の出力として試料1の拡大、縮小映像を得るのを可能とすると共に、コントローラ7により、試料1を保持する試料保持移動手段3を制御し当該試料保持移動手段3により、試料1を、電子45を第1方向Aに偏向した時のX線50の移動方向たる第2方向Bに該電子45の偏向に対応した量に応じて移動し、試料1の同一位置をX線50で照射可能としてX線撮像装置4の出力として試料1の同一位置を含む拡大、縮小映像を得る。
Claim (excerpt)：
入射する電子ビームとX線出射窓の各々に対して斜めに形成されたターゲットを有し、前記電子ビームが前記ターゲットに衝突することでX線を発生しこのX線を前記X線出射窓を介して出射するX線源と、前記ターゲットに向かう前記電子ビームを、少なくとも当該電子ビームを含む面内で前記X線出射窓に対して接離する第1方向に偏向可能とする電子ビーム偏向手段と、前記X線出射窓を介して出射されたX線により透視される試料を保持すると共に、当該試料を、少なくとも前記電子ビームが前記第1方向に偏向された時の前記X線の移動方向となる第2方向に移動可能とする試料保持移動手段と、前記試料を透過するX線を撮像するX線撮像装置と、前記電子ビーム偏向手段を制御して前記電子ビームを前記第1方向に偏向させると共に、前記試料保持移動手段を制御して前記電子ビームの前記第1方向への偏向に対応した量に応じて前記試料を前記第2方向に移動させるコントローラと、を具備したX線検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (25)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001FA06
, 2G001GA05
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA06
, 2G001JA11
, 2G001JA20
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 4C092AA01
, 4C092AB11
, 4C092AB30
, 4C092AC08
, 4C092AC16
, 4C092BD16
, 4C092CD02
, 4C092CE07
, 4C092CJ21
, 4C092DD03
