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J-GLOBAL ID：200903059644954412

硬脆材料用の表面精密研磨剤

Inventor： 國光 嘉彦 ,  福永 登志一
Applicant, Patent owner： 日本シリカ工業株式会社
Agent (1)： 本多 小平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991156791
Publication number (International publication number)：1993001279
Application date： Jun. 27, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 タンタル酸リチウムのような硬脆材料の表面研磨を高能率で行なうことができる表面精密研磨剤を提供する。【構成】 沈殿法により製造された微粒子状二酸化ケイ素であって、BET比表面積が10〜60m2 /gであり、コールターカウンター法で測定した時の二次粒子の平均粒子径が0.5〜5μmである微粒子状二酸化ケイ素の水性スラリー分散液を研磨剤とする。

Claim (excerpt)：

沈澱法により製造されたBET比表面積が10〜60m2/g、コールターカウンター法で測定した時の二次粒子の平均粒子径が0.5〜5μmの微粒状二酸化ケイ素の水を媒体としたスラリー分散液であることを特徴とする硬脆材料用の表面精密研磨剤。

IPC (2)：

C09K 3/14 ,  B24B 37/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特公昭54-004919
  
• 特公昭61-016732