多結晶性ダイヤモンド薄膜及びその形成方法、半導体装置及びその製造方法、これらの方法の実施に使用する装置、並びに電気光学装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：逢坂宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001094708
Publication number (International publication number)：2002293687
Application date： Mar. 29, 2001
Publication date： Oct. 09, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】大粒径で高品質の多結晶性ダイヤモンド薄膜を容易かつ低コストに、しかも大面積に形成可能な方法と、この方法を実施する装置を提供する。【解決手段】基体1上に触媒CVD法等によりアモルファス又は微結晶カーボン薄膜100Aを形成し、水素又は水素含有ガスを加熱された触媒体に接触させ、これによって生成した水素系活性種をカーボン薄膜100Aに必要あればグロー放電開始電圧以下の電界又は/及び磁界の作用下で作用させて(バイアス又は非バイアス触媒AHA処理で)そのアモルファス成分のカーボンをエッチング除去し、ダイヤモンド構造のカーボン超微粒子層100Bを形成し、これをシードにバイアス又は非バイアス触媒CVD法等により多結晶性ダイヤモンド薄膜を成長させる方法、又は半導体装置の製造方法、及びこれらを実施するための装置。

Claim (excerpt)：

基体上に多結晶性ダイヤモンド薄膜を形成するに際し、前記基体上にアモルファスカーボン又は微結晶カーボン又はこれらの混合物からなるカーボン薄膜を形成する工程と、水素又は水素含有ガスを加熱された触媒体に接触させ、これによって生成した水素系活性種を必要あればグロー放電開始電圧以下の電界又は/及び磁界の作用下で前記カーボン薄膜に作用させてアニールを行い、ダイヤモンド構造のカーボン超微粒子を形成する工程と、このカーボン超微粒子をシードに結晶成長させて前記多結晶性ダイヤモンド薄膜を気相成長させる工程とを経て前記多結晶性ダイヤモンド薄膜を得る、多結晶性ダイヤモンド薄膜の形成方法。

IPC (10)：

C30B 29/04 , C23C 16/27 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , H01L 21/20 , H01L 21/205 , H01L 29/786 , H01L 31/04 , H05B 33/14

FI (10)：

C30B 29/04 Q , C23C 16/27 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , H01L 21/20 , H01L 21/205 , H05B 33/14 A , H01L 29/78 618 B , H01L 31/04 X

F-Term (151)：

2H092JA24 , 2H092KA04 , 2H092MA02 , 2H092MA28 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092NA21 , 2H092NA25 , 2H092PA06 , 3K007AB00 , 3K007AB04 , 3K007AB05 , 3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 3K007FA03 , 4G077AA03 , 4G077BA03 , 4G077DB21 , 4G077EF02 , 4G077HA06 , 4G077HA20 , 4K030AA09 , 4K030AA17 , 4K030BA27 , 4K030BA28 , 4K030BB03 , 4K030CA06 , 4K030DA08 , 4K030FA17 , 4K030HA01 , 4K030HA07 , 4K030JA18 , 4K030KA32 , 4K030KA46 , 4K030KA49 , 4K030LA15 , 4K030LA16 , 4K030LA18 , 5C094AA06 , 5C094AA08 , 5C094AA09 , 5C094AA16 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EB02 , 5C094EB05 , 5C094ED02 , 5C094HA08 , 5F045AA03 , 5F045AB07 , 5F045AC07 , 5F045AC18 , 5F045AC19 , 5F045AD04 , 5F045AD05 , 5F045AD06 , 5F045AD07 , 5F045AD08 , 5F045AD09 , 5F045AE15 , 5F045AE17 , 5F045AF07 , 5F045BB04 , 5F045BB08 , 5F045BB16 , 5F045DP05 , 5F045DQ10 , 5F045HA06 , 5F045HA22 , 5F051AA03 , 5F051CB04 , 5F051DA04 , 5F051FA02 , 5F051FA04 , 5F052AA17 , 5F052AA22 , 5F052CA10 , 5F052DA10 , 5F052DB01 , 5F052DB03 , 5F052DB07 , 5F052FA19 , 5F052JA01 , 5F052JA09 , 5F110AA07 , 5F110AA16 , 5F110AA17 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110BB10 , 5F110CC02 , 5F110CC04 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE09 , 5F110EE23 , 5F110EE30 , 5F110EE45 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF10 , 5F110FF29 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG13 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG34 , 5F110GG44 , 5F110GG51 , 5F110GG52 , 5F110GG60 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL11 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN25 , 5F110NN35 , 5F110NN72

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