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J-GLOBAL ID：200903059747685720

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 丹 史郎 ,  藤森 亨
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999255798
Publication number (International publication number)：2001083709
Application date： Sep. 09, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ラインエッジラフネス(LER)を改良し、高感度、高解像力を有するポジ型感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解度が増大する、特定の構造の酸分解性溶解抑止化合物、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、溶剤、アルカリ可溶性樹脂及び/又は酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解性が増大するポリマーを含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(a)酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解度が増大する、下記一般式(I)で表される酸分解性溶解抑止化合物、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)溶剤、及び(d)アルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【化1】一般式(I)中、R1は、n価の有機基を表す。Arは、置換されていてもよいアリール基を表す。aは0以上の整数を表す。nは2以上の整数を表す。但し、n-aは1以上の整数である。

IPC (3)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (16)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB17 ,  2H025CB29 ,  2H025CB53 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20