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J-GLOBAL ID：200903059759781279
微小表面硬度測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994302560
Publication number (International publication number)：1996159941
Application date： Dec. 07, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：
【要約】【構成】 先端に探針(12)を取り付けた両持ちレバー(11)、その両持ちレバーを固定する両持ちレバー台(14)、両持ちレバーの変位を測定する1軸レバー用アクチュエータ(15)、試料の位置を変化させる3軸観察用アクチュエータ(17)、および、変位計(16)からなる表面硬度測定装置であって、探針の垂直押し込み力と押し込み深さとの測定により微小表面の硬さを測定する。【効果】 押し込み力-押し込み深さとの測定によってナノスコピックレベルにおける微小表面硬度測定を行うことが可能となる。
Claim (excerpt)：
中間部に探針を配設した両持ちレバーと、その両持ちレバーを固定する両持ちレバー台、両持ちレバー用の1軸アクチュエータ、試料の位置を変化させる観察用3軸アクチュエータ、並びに変位計とを備えた表面硬度測定装置であって、両持ちレバーに配設した探針を試料表面に垂直に押し込み、この時の押し込み力と押し込み深さとを測定して微小硬さ測定を行うことを特徴とする微小表面硬度測定装置。
Patent cited by the Patent：
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