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J-GLOBAL ID：200903059776562319

画像測定装置及びそれに利用される撮像装置

Inventor： 荒井 治 ,  大家 清
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996141373
Publication number (International publication number)：1997325012
Application date： Jun. 04, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 廉価なCCD素子を使って分解能の高い画像データを取得する。【解決手段】ステージ上に置かれた被検査物の像を光学系を介して結像させ、その結像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像装置と、被検査物のエッジ位置を電気信号に基づく画像処理により検出する画像処理部とを有する画像測定装置において、撮像装置は、被検査物またはその像を、複数に分割した領域毎に縮小し第一の結像面に結像する複数の光学系と、その結像面上に前記分割領域に対応して配列される複数の光電変換素子とを有し、その光電変換素子からの電気信号が合成される画像測定装置。画素数が多くない廉価な光電変換素子であるCCD素子であっても複数配置することで高い分解能を実現することができる。

Claim (excerpt)：

被検査物の像を光学系を介して結像させ、その結像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像装置と、前記被検査物のエッジ位置を前記電気信号に基づく画像処理により検出する画像処理部とを有する画像測定装置において、前記撮像装置は、前記被検査物またはその像を、複数に分割した領域毎に縮小し第一の結像面に結像する複数の光学系を有する第一の光学系と、該第一の結像面上に前記分割した領域に対応して配列される複数の光電変換素子とを有し、前記画像処理部は、該複数の光電変換素子からの電気信号を合成することを特徴とする画像測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G06T 7/00

FI (3)：

G01B 11/00 H ,  G01B 11/24 F ,  G06F 15/62 400

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 撮像装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-042402   Applicant：オリンパス光学工業株式会社