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J-GLOBAL ID：200903059802994451
ポジ型感放射線性樹脂組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994179940
Publication number (International publication number)：1996044053
Application date： Aug. 01, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：
【要約】【構成】 (1)(i)m-クレゾールと(ii)少なくとも2,3-キシレノール、3,4-キシレノールおよび2,3,5-トリメチルフェノールの一種と(iii)下記式(1)【化1】(式中、Rはアルキレン基、アルケニレン基、シクロアルキレン基、ポリシクロアルキレン基、アリーレン基またはアラルキレン基を示し、1は0又は1である。)で示される少なくとも1種のアルデヒドとを重縮合反応して得られるアルカリ可溶性樹脂および(2)キノンジアジト化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【効果】 特にフォーカス許容性に優れるとともに、感度、解像度、耐熱性およびパターン形状にも優れるので、今後さらに高集積化が進むと考えられる集積回路製造用ポジ型レジストとして極めて有用である。
Claim (excerpt)：
(1)(i)m-クレゾールと(ii)2,3-キシレノール、3,4-キシレノールおよび2,3,5-トリメチルフェノールからなる群から選択される少なくとも1種のジメチルあるいはトリメチルフェノールまたはこの少なくとも1種のジメチルあるいはトリメチルフェノールとそれ以外のフェノール類(但し、m-クレゾールを除く)との組合せと(iii)下記式(1)【化1】(式(1)中、Rは炭素数1〜10の置換もしくは非置換のアルキレン基、炭素数2〜10の置換もしくは非置換のアルケニレン基、炭素数5〜10の置換もしくは非置換のシクロアルキレン基、炭素数7〜12の置換もしくは非置換のポリシクロアルキレン基、炭素数6〜18の置換もしくは非置換のアリーレン基または炭素数8〜18の置換もしくは非置換のアラルキレン基を示し、lは0又は1である。)で示される少なくとも1種のアルデヒドまたはこの少なくとも1種のアルデヒドとそれ以外のアルデヒドとの組合せとを重縮合反応して得られるアルカリ可溶性樹脂および(2)キノンジアジト化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (2)：
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