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J-GLOBAL ID：200903059803801355
平行平板型プラズマ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991200198
Publication number (International publication number)：1993047714
Application date： Aug. 09, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：
【要約】【構成】 互いに対向して配置された上部電極11、下部電極12及びクランプ板23等を備え、上部電極11と下部電極12との間にRF電源25が接続され、RF電源25の各高調波成分における高調波含有率の合計が-30dB以下に設定されている平行平板型プラズマ装置。【効果】 大口径ウェハに微細加工を高歩留り、高スループットで施すことができる。
Claim (excerpt)：
互いに対向して配置された1次電極、2次電極及びウェハクランプ等を備え、前記上部電極と前記下部電極との間に高周波(以下RFと記す)電源が接続された平行平板型プラズマ装置において、前記RF電源の各高調波成分における高調波含有率の合計が-30dB以下に設定されていることを特徴とする平行平板型プラズマ装置。
IPC (3)：
H01L 21/302
, C23F 4/00
, H05H 1/46
