ストッカーおよび物品棚情報スキャニングシステム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田北嵩晴
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997097942
Publication number (International publication number)：1998279025
Application date： Apr. 02, 1997
Publication date： Oct. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】消失した在棚管理データの再構築が可能なストッカー棚情報スキャニングシステム。【解決手段】キャリア又はボックスにロット情報を表記するため添付するタグと、ストッカー1内のキャリアの収納の有無を検出するために自動搬送機構3bに配備した在棚検知手段4,6と、自動搬送機構の調節自在なアーム部に装備した読取センサによりタグを読取るタグ読取手段5,6と、障害発生によりストッカーの在棚管理データが消失した場合に在棚検知手段を制御してストッカー棚の在棚の有無を確認し、在棚の場合にタグ読取手段を制御してタグを読取り、順次ストッカー棚2をスキャニングして消失した在棚データを再構築するシステム管理手段8を備えている。

Claim (excerpt)：

複数枚の半導体ウエハを収納する単位としてのキャリアまたはボックスを保管するためのストッカーと、該ストッカー内の任意の棚に対して前記キャリアまたはボックスを入出庫する自動搬送機構を有し管理用コンピュータによって統括運営される半導体ウエハの在棚管理システムにおいて、前記キャリアまたはボックスにロット情報を表記するために添付するタグと、前記ストッカー内の前記キャリアまたはボックスの収納の有無を検出するために前記自動搬送機構に配備した在棚検知手段と、前記自動搬送機構の調節自在なアーム部に装備した読取センサにより前記タグを読取るタグ読取手段と、障害発生により前記ストッカーの在棚管理データが消失した場合に前記在棚検知手段を制御して前記ストッカー棚内のキャリアまたはボックスの有無を確認し、前記キャリアまたはボックスが在棚している場合は前記タグ読取手段を制御して前記タグを読取り、順次ストッカー棚をスキャニングして消失した在棚管理データを再構築するシステム管理手段を備えたことを特徴とするストッカー棚情報スキャニングシステム。

IPC (3)：

B65G 1/137 , B65G 1/04 541 , H01L 21/68

FI (3)：

B65G 1/137 A , B65G 1/04 541 , H01L 21/68 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭63-071004
特開平2-033007
自動倉庫の制御システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-334244 Applicant：小松フォークリフト株式会社

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