Pat

J-GLOBAL ID：200903059818507968

ウエハ異物検査装置及び検査方法

Inventor： 秋山 実 ,  越中 昌夫 ,  小坂 宣之
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992093753
Publication number (International publication number)：1993264460
Application date： Mar. 19, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 表面粗さを有するウエハ上の異物を精度よく検出する。【構成】 レーザトラピッング効果を利用し、ウエハに変動用レーザ光3と散乱光検出用レーザ光2とを重ねて照射し、断続的に照射される変動用レーザ光3の周期に同期した散乱光検出用レーザ光2の散乱光の強度信号を演算部6により選択的に取り出す。

Claim (excerpt)：

被検ウエハ上に検出用レーザ光を照射するレーザ光源と、前記被検ウエハ上に照射されて反射した検出用レーザ光を受光する受光器とを備え、上記検出用レーザ光の散乱により上記被検ウエハ上の異物を検出するウエハ異物検査装置において、上記被検ウエハ上の異物の位置または形状を周期的に変化させるよう、これにエネルギービームを照射するエネルギービーム照射手段と、該エネルギービーム照射手段の動作周期と同期した検出用レーザ光の散乱光による信号を選択的に取り出す信号処理手段とを備えたことを特徴とするウエハ異物検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66