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J-GLOBAL ID：200903059829788705

周期性パターンの欠陥検査方法

Inventor： 清水 敏 ,  中西 稔
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993245122
Publication number (International publication number)：1995103911
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ラインセンサカメラの画素配列方向と周期性パターンの配列方向に角度があっても正弦波状のノイズを抑え、感度低下を招くことなく欠陥検査を行うことを可能にする。【構成】 線状領域撮影手段により副走査方向に長い領域を撮影して得られる映像信号を主走査方向にサンプリングし、サンプリングされた各データを演算し、所定のスライスレベルを越える信号を欠陥として検出することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

試料移動装置により一定速度で移動する試料を光源で照明し、その透過光を線状領域撮影手段により撮影した信号から周期性パターンに発生する欠陥を検出する方法において、線状領域撮影手段により副走査方向に長い領域を撮影して得られる映像信号を主走査方向にサンプリングし、サンプリングされた各データを演算し、所定のスライスレベルを越える信号を欠陥として検出することを特徴とする周期性パターンの欠陥検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06T 7/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平1-260585
  
• 特開平1-260585
  
• 特開平1-307646
  
• 特開平1-307646
  
• 特開平4-198744