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J-GLOBAL ID：200903059849631551

紫外線パルスレーザ光に対する透過率測定方法及び測定装置

Inventor： 小峯 典男 ,  藤原 誠志 ,  神保 宏樹
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大西 正悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997237936
Publication number (International publication number)：1999083676
Application date： Sep. 03, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 紫外線パルスレーザ光を直接光源とした透過率測定において、単発或いは低繰り返しでのパルスレーザ光に対する透過率測定精度を向上させる測定方法及びその測定装置を提供する。【解決手段】 紫外線パルスレーザ光のワンパルスが測定対象を透過する前にこのレーザ光から抽出した参照光の強度と測定対象を透過した後に抽出した透過光の強度とを同時に検出し、その強度比を用いて測定対象の透過率を算出する。

Claim (excerpt)：

紫外線パルスレーザ光に対する透過率測定方法であって、前記紫外線パルスレーザ光のワンパルスが測定対象を透過する前に前記レーザ光から抽出した参照光の強度と前記測定対象を透過した後に抽出した透過光の強度とを同時に測定し、前記参照光の強度と前記透過光の強度とから第1強度比を算出する第1工程と、前記測定対象を取り外して第1工程と同様に測定される参照光の強度及び透過光の強度とから第2強度比を算出する第2工程と、前記第1工程により求められる前記第1強度比と、前記第2工程により求められる前記第2強度比とから、前記測定対象の透過率を算出する第3工程とを有することを特徴とする紫外線パルスレーザ光に対する透過率測定方法。

IPC (4)：

G01M 11/02 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/59

FI (4)：

G01M 11/02 B ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/59 Z