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J-GLOBAL ID:200903059854565044
圧電アクチュエータ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中野 雅房
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992283775
Publication number (International publication number):1994112545
Application date: Sep. 28, 1992
Publication date: Apr. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】 横歪を利用して縦方向変位を出力する圧電アクチュエータにおいて、機能層で生じた横歪を圧電素子ないし圧電アクチュエータの両端面に効率よく伝搬させることにある。【構成】 圧電セラミック層1と内部電極2a,2bを交互に積層した機能層3の上面全体及び下面全体を圧電セラミック製もしくは絶縁体製の保護層5aによって覆う。この保護層5aの厚みtは、内部電極2a,2b間の圧電セラミック層1の厚みTと同等か、それ以下の厚みとする。この上下の保護層5aの上には、それぞれ内面側の中央部に空洞を有するブリッジ状もしくはドーム状をした変位拡大プレート7を接合する。
Claim (excerpt):
圧電セラミック及び該圧電セラミックに電界を印加するための電極から成る機能層と、上記機能層の上下面に形成される保護層とを備え、機能層に生じる横歪を縦方向変位に変換して出力する圧電アクチュエータにおいて、上記保護層は、機能層で発生する上記電極に対して平行な方向の横歪を抑制しないように形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
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