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J-GLOBAL ID：200903059863673240
計測方法および計測装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木下 實三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998003035
Publication number (International publication number)：1998311715
Application date： Jan. 09, 1998
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】 測定速度を変更する必要のある測定でも、測定速度に基づく偏り誤差を補正でき、高精度でかつ能率的な計測を実現できる計測方向および計測装置を提供する。【解決手段】 プローブ(タッチトリガプローブ70)を用いた計測方法において、タッチトリガプローブ70から接触検出信号が発生したときのプローブ70の座標値P1および速度V1を検出し、これらの座標値P1および速度V1とタッチトリガプローブ70の接触検出遅れ時間T1(接触から接触検出信号が発生するまでの時間)とから接触時の座標値P0を求める。
Claim (excerpt)：
被測定物との関係で位置検出信号を発生するプローブと被測定物とを相対移動させ、そのプローブからの位置検出信号に基づいてプローブと被測定物との相対移動座標値を検出し、この相対移動座標値を基に被測定物の寸法および表面性状の少なくとも一方を計測する計測方法であって、前記プローブからの位置検出信号を基に、プローブと被測定物との相対移動座標値およびプローブと被測定物との相対移動速度をそれぞれ検出し、前記検出時の相対移動速度に基づく補正量で、前記検出時の相対移動座標値を補正する、ことを特徴とする計測方法。
Patent cited by the Patent：
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