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J-GLOBAL ID:200903059892135436

力検出方法、および力検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 秋本 正実
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993053970
Publication number (International publication number):1994265416
Application date: Mar. 15, 1993
Publication date: Sep. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】 微細な機構部分に実装することができるような微小素子だけで力を検出するセンサヘッドを構成することにより、微細機構による力制御を可能とする。【構成】 応力を測ろうとする部位に2本の光ファイバ1a,1bを敷設し、その先端部を微小なミラー2a,2bを介して光学的に結合する。上記の部位の変形に伴って前記光学的結合の結合効率が変化するので、光ファイバ1bの受光量を光センサ8で計測し、上記受光量の変化を算出して前記部位に与えられた外力、および該部位に生じた応力を、実時間で検出できるようにした。
Claim (excerpt):
外力を受けて変形する部材について、その変形量を物理量の変化として検出して前記外力を検出するる方法において、前記の部材に沿って光路を設定するとともに、上記の光路の一端に光を導き入れる光源手段と、上記の光路の他端から導き出した光の強さを測定する手段を設け、かつ、上記の光路に沿わしめて光を導く光学部材を前記の外力を受けて変形する部材に取り付け、前記の外力を受けて変形する部材の変形に伴って、これに取り付けられた光学部材の相対的位置の変化に伴って前記光路中の光の伝搬損失量の変化を計測し、上記伝搬損失量の変化に基づいて、前記の外力によって変形する部材の変形量を算出し、上記変形量から外力の大きさを算出することを特徴とする、力検出方法。
IPC (4):
G01L 1/00 ,  G01B 11/00 ,  G01L 9/00 ,  G02B 6/00

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