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J-GLOBAL ID：200903059901650241

低反射薄膜基板

Inventor： 鈴木 忠勝
Applicant, Patent owner： 株式会社倉元製作所
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996046481
Publication number (International publication number)：1997243801
Application date： Mar. 04, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 液晶パネル用カラーフィルタ基板用ブラックマトリックス等に有用なクロムを用いない低反射薄膜基板を提供する。【解決手段】 可視光域において、極小反射率が0.5%以下、光学濃度が4以上で、透明ガラス基板上にスパッタリングによりNi、Fe、Co、Mo、W、TaまたはNbの1種以上からなる薄膜が成膜されている低反射薄膜基板。

Claim (excerpt)：

可視光域において、極小反射率が0.5%以下、光学濃度が4以上で、透明ガラス基板上にスパッタリングによりNi、Fe、Co、Mo、W、Ta、またはNbの1種以上からなる薄膜が成膜されていることを特徴とする低反射薄膜基板。

IPC (6)：

G02B 1/11 ,  C23C 14/18 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 ,  C23C 14/14

FI (6)：

G02B 1/10 A ,  C23C 14/18 ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 ,  C23C 14/14 D