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J-GLOBAL ID：200903059933711773

走査型近接場顕微鏡におけるイルミネーション反射モードの測定方法

Inventor： 伊與木 誠人
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001039085
Publication number (International publication number)：2002243618
Application date： Feb. 15, 2001
Publication date： Aug. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】 走査型近接場顕微鏡におけるイルミネーション反射モードにおいて、集光効率のよい測定方法を得る。【解決手段】 プローブをサンプルに対して垂直方向に加振させながら、プローブに入射する光に変調を掛け、プローブ先端がサンプルに最も近づいた状態よりも遠ざかった位置でプローブ先端から光を照射し、そのときのサンプルからの反射光をロックイン検出する。

Claim (excerpt)：

先端が先鋭化され、先端部に微小開口を有し、プローブの長軸方向に対して先端を屈曲させたプローブと、サンプルに対して前記プローブ先端を垂直方向に振動させる加振手段と、前記プローブにカップリングされ、微小開口部からサンプルに対して光を照射するための光源と、前記光源からの光を前記プローブの振動周期と同期して振幅変調する光変調手段と、前記光変調手段での位相または間欠率を変化させる移相器と、前記プローブの変位を検出する変位検出手段と、サンプルからの反射光を検出可能な位置に配置された集光光学系と、反射光強度を測定するための光検出器と、前記サンプルと前記プローブを相対移動させる粗動機構および微動機構と、装置全体を制御する制御装置を有する走査型近接場顕微鏡において、プローブ先端がサンプルに最も近づいた状態よりも遠ざかった位置で、プローブ先端から光を照射し、そのときのサンプルからの反射光をロックイン検出することを特徴とする走査型近接場顕微鏡におけるイルミネーション反射モードの測定方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 近接場光学顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-283359   Applicant：キヤノン株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 楕円振動プローブによる反射型近接場光学顕微鏡の開発