Pat
J-GLOBAL ID：200903059947855581
露光量調整方法及び走査型露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996260344
Publication number (International publication number)：1998083953
Application date： Sep. 09, 1996
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 照明条件の如何にかかわらず感光基板上の被露光領域の全面で感光材の感度に応じた積算露光量を設定する。【解決手段】 マスクRに対する照明条件変更の前後で感光基板Wに対してほぼ同じ積算露光量が与えられるように、照明条件の変更に伴う感光基板W上での走査方向の照度分布の形状変化に応じて、マスクR及び感光基板Wの走査速度と、感光基板Wに照射される露光光の光量と、露光領域47の走査方向の幅との少なくとも1つを調整する。このため、照明条件の変更に応じて感光基板W上の被露光領域の全面で感光材の感度に応じた最適な積算露光量が確保される。
Claim (excerpt)：
露光光により照明された所定の照明領域に対しマスクを走査するのに同期して前記照明領域と共役な露光領域に対して感光基板を走査することにより、前記マスクに形成されたパターンを投影光学系を介して前記感光基板上に転写するに際して用いられる露光量調整方法において、前記マスクに対する照明条件変更の前後で前記感光基板に対してほぼ同じ積算露光量が与えられるように、照明条件の変更に伴う前記感光基板上での走査方向の照度分布の形状変化に応じて、前記マスク及び前記感光基板の走査速度と、前記感光基板に照射される露光光の光量と、前記露光領域の走査方向の幅との少なくとも1つを調整することを特徴とする露光量調整方法。
FI (2)：
H01L 21/30 516 D
, H01L 21/30 518
