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J-GLOBAL ID：200903059988422363

原子間力顕微鏡

Inventor： 中本圭一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996079006
Publication number (International publication number)：1997269223
Application date： Apr. 01, 1996
Publication date： Oct. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】 溶液中での観察をノンコンタクトモードで行い、圧電体素子のシーリングを不要にするとともに、圧電体素子への配線を容易にする。【解決手段】 溶液中の試料を保持する液中セルをスキャナ上に取付け、液中セル上部に設けたガラス窓内面にカンチレバ台を貼り付けてカンチレバを取付けて試料に対向させ、ガラス窓と液中セル間をゲルリングでシールするとともに、ガラス窓外面周縁に圧電素子を取付け、圧電素子を駆動してガラス窓ごとカンチレバーを振動させるようにしたものであり、圧電素子を溶液外に配置したことを特徴としている。

Claim (excerpt)：

スキャナ上に取付けられ、溶液中で試料を保持する液中セルと、液中セル上部に設けられ、試料に対向するカンチレバを取付けたカンチレバ台が内面に貼り付けられたガラス窓と、ガラス窓と液中セル間をシールするゲルリングと、ガラス窓を介してカンチレバを励振するためのガラス窓外側周縁に取付けられた圧電素子と、圧電素子を励振する電源とからなる原子間力顕微鏡。