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J-GLOBAL ID：200903059990854181

光学的な開口の作製方法

Inventor： 篠原 陽子 ,  加藤 健二 ,  新輪 隆 ,  笠間 宣行 ,  光岡 靖幸 ,  市原 進 ,  前田 英孝 ,  大海 学
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000370186
Publication number (International publication number)：2002168763
Application date： Dec. 05, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 簡便な方法で均一な開口径を有する光学的な開口を形成する方法を提供すること。【解決手段】 錐状突起と前記錐状突起の近傍に配置され、前記錐状突起と略同じ高さを有するストッパーと、少なくとも前記錐状突起上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、移動機構によって、少なくとも前記錐状突起および前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体を、前記錐状突起に向かって加圧かつ移動させることによって、前記錐状突起の略先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。

Claim (excerpt)：

十分な厚さを有する遮光膜で覆われた微小突起の略先端に光学的な開口を作製する方法において、錐状突起と、前記錐状突起の近傍に配置され、前記錐状突起と略同じ高さを有するストッパーと、前記錐状突起上に形成された遮光膜と、前記錐状突起及び前記ストッパーの少なくとも一部を覆う押し込み体と、前記錐状突起の方向に前記押し込み体を動かす移動機構とを備えたことを特徴とする光学的な開口の作製方法。

IPC (3)：

G01N 13/14 ,  B82B 3/00 ,  G12B 21/06

FI (3)：

G01N 13/14 B ,  B82B 3/00 ,  G12B 1/00 601 C