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J-GLOBAL ID：200903060023326050

半導体熱処理用の石英ガラス治具とその製造方法

Inventor： 高久 敏明
Applicant, Patent owner： 信越半導体株式会社
Agent (1)： 高橋 昌久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994259829
Publication number (International publication number)：1996102447
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、前記薄膜と石英ガラス治具との間の熱膨張率差に起因して生じる各種不具合を、例えばひび割れや破壊のない反応管、パーティクルの発生のないウエーハボートを提供することにある。【構成】 本発明は熱CVD装置に用いられる石英ガラス治具に適用されるもので、その特徴とするところは、該治具を透明石英ガラス材で形成するとともに、その熱処理空間と対面する部位、またはウエーハと接触する部位をサンドブラスト処理を施したことにある。ここで透明石英ガラス材に限定した理由は、透明石英ガラスの場合、気泡入り若しくは不透明石英ガラスに比較して表面硬度が均一化しており、サンドブラスト処理により所期の表面粗さが効果的に得られ、これにより該処理により前記CVD膜との間に発生する応力により生じる欠点を有効に阻止し得る為である。

Claim (excerpt)：

CVD装置や熱拡散装置等の半導体熱処理装置に用いられる石英ガラス治具において、前記石英ガラス治具を透明石英ガラス材で形成し、該治具の熱処理空間と対面する部位をサンドブラスト処理を施した事を特徴とする半導体熱処理用の石英ガラス治具

IPC (4)：

H01L 21/22 511 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 認識記号付石英ガラス治具
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-148339   Applicant：株式会社山形信越石英, 信越石英株式会社
• 特開昭58-202535
  
• 特開平1-170020
  
• 特開平1-205427