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J-GLOBAL ID：200903060035406377

振動ジャイロ

Inventor： 増 尾 翼
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992040372
Publication number (International publication number)：1993209754
Application date： Jan. 29, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 超小型化が可能でかつ量産性に優れた構造を有する、振動ジャイロを提供する。【構成】 略3角柱状の振動体12と、X字状の2つの支持部材14aおよび14bと、矩形枠状の支持台16とが、シリコン基板をエッチングすることによって、一体的に形成される。振動体12の3つの側面全面には、金属薄膜からなる下部電極20が形成される。また、振動体12の1つの側面の中央には、圧電体薄膜からなる圧電体層22aおよび金属薄膜からなる上部電極24aが積層的に形成される。同様に、振動体12の他の2つの側面の中央にも、圧電体層および上部電極が、それぞれ積層的に形成される。

Claim (excerpt)：

シリコン基板をエッチングすることによって一体的に形成される、略3角柱状の振動体,前記振動体の稜線部分を横切る支持部材および前記振動体の周辺に配置される支持台と、前記振動体の側面に形成され金属薄膜からなる下部電極と、前記下部電極の表面に形成され圧電体薄膜からなる圧電体層と、前記圧電体層の表面に形成され金属薄膜からなる上部電極とを含む、振動ジャイロ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04