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J-GLOBAL ID：200903060039079605

非晶質硬質炭素膜及びその製造方法

Inventor： 庄 健太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ゼクセル
Agent (1)： 塩澤 寿夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994121047
Publication number (International publication number)：1995054150
Application date： Jun. 02, 1994
Publication date： Feb. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 基材との密着性に優れ、かつ耐摩耗性と摺動特性(摩擦係数)のような潤滑特性が特に改善された非晶質硬質炭素膜、その製造方法、及び非晶質硬質炭素膜を用いた機械部品の提供。【構成】 基材上に蒸着させた非晶質硬質炭素膜であって、ケイ素及び窒素をさらに含有する非晶質硬質炭素膜。炭素原料、ケイ素原料及び窒素原料を、基材を設置した蒸着室内に導入し、前記基材上にケイ素及び窒素を含有する非晶質硬質炭素膜を蒸着させる方法。摺動部分を有する機械部品であって、少なくとも前記摺動部分を前記非晶質硬質炭素膜で被覆した機械部品。

Claim (excerpt)：

基材上に蒸着させた非晶質硬質炭素膜であって、ケイ素及び窒素をさらに含有する非晶質硬質炭素膜。

IPC (4)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 14/06 ,  F16C 33/12