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J-GLOBAL ID：200903060046779418

搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段

Inventor： 小池 土志夫 ,  武松 忠
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992238906
Publication number (International publication number)：1994063885
Application date： Aug. 14, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】非接触の状態で静電チャックへの供電を可能にする搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段を提供する。【構成】搬送用ロボットの試料把持部の静電チャック3への供電手段は、電力を供給する発振器4と、固定された一次コイル2を接続すると共に、搬送用ロボットの試料把持部に左右に回転自在な二次コイル1を一次コイル2と同軸状に設け、一次コイル2によって二次コイル1に誘導起電力を発生させる。

Claim (excerpt)：

電力を供給する発振器に、固定された一次コイルを接続すると共に、搬送用ロボットの試料把持部に左右に回転自在な二次コイルを一次コイルと同軸状に設け、一次コイルによって二次コイルに誘導起電力を発生させることを特徴とする搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段。

IPC (2)：

B25J 15/00 ,  B25J 15/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-002487
  
• 特開昭59-129686
  
• 特開昭62-086837