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J-GLOBAL ID：200903060083179129
ガスリーク検査方法と装置及び記録媒体
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊沢 敏昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997270648
Publication number (International publication number)：1999094687
Application date： Sep. 17, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ガス容器のバルブ等のガスリーク検査をリーク量の多少にかかわらず確実に行なう。【解決手段】 ガス容器12の交換前にバルブV1 〜V5 を閉じてバルブV1に連通する密閉空間を形成する。バルブV2 ,V3 を介して装置16により密閉空間を真空排気した後、バルブV2 ,V3 を閉じる。圧力計P2 により密閉空間内の絶対圧力と圧力変動を測定し、各々の測定値に基づいてバルブV1 のリークの有無を判定する。ガス容器12の交換後バルブV1 を開く前に上記したと同様にして密閉空間の形成と真空排気を行なった後、ガス容器20から密閉空間に高圧N2 ガスを封入する。圧力計P2 により密閉空間内の絶対圧力と圧力変動を測定し、各々の測定値に基づいてコネクタCN1 のリークの有無を判定する。
Claim (excerpt)：
ガス容器のバルブのガスリークを検査するためのガスリーク検査方法であって、前記バルブに連通する密閉空間を形成するステップと、前記密閉空間を真空排気するステップと、前記密閉空間の密閉性を確保すると共に前記密閉空間からの真空排気を停止した状態で前記密閉空間内の絶対圧力及び圧力変動を測定するステップと、前記絶対圧力の測定値と前記圧力変動の測定値とに基づいて前記バルブのガスリークの有無を判定するステップとを含むガスリーク検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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