走査電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井島藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993165479
Publication number (International publication number)：1995021962
Application date： Jul. 05, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】表示画面の任意の位置に走査像を表示しても、表示された走査像の中心と倍率中心とを一致させることができる走査電子顕微鏡をを実現する。【構成】ディスプレイ15の表示画面の左上に走査像の表示領域を移動させる場合、コンピュータ11のポインティングデバイスを操作し、表示領域の移動を指示する。この場合、試料4上の電子ビームの走査領域も表示画面上の走査像の表示領域の移動にともなって移動する。この移動は、コンピュータ11から走査回路6への制御によって行われる。オペレータが表示画面を観察し、注目部分が走査像の中に表示されたとき、ポインティングデバイスを操作し、走査像の観察領域を確定する。その際、コンピュータ11はステージ制御回路14を制御し、駆動機構13により試料ステージ12を移動させる。この結果、走査像は、電子ビームの走査領域の中心(光軸)を中心として拡大あるいは縮小される。

Claim (excerpt)：

試料に照射される電子ビームを集束する集束手段と、試料上で電子ビームを走査する走査手段と、試料への電子ビームの照射によって発生した信号を検出する検出手段と、検出手段からの信号が供給され試料の走査像を表示する表示手段と、試料の位置を移動させる移動手段とを備えた走査電子顕微鏡において、前記表示手段は表示画面領域中の走査像の表示領域の大きさと位置を任意に変え得るように構成されており、走査像の表示領域の中心を表示手段の表示画面領域の中心から外した位置に移した際、該表示領域に表示された走査像に対応した試料上の電子ビームの走査領域の中心が電子ビーム光軸に一致するように、前記試料移動手段を制御する制御手段を有した走査電子顕微鏡。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭64-084555
特開昭52-094062
特開昭52-075261

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