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J-GLOBAL ID：200903060096903756

位置決め方法およびその装置

Inventor： 山崎 俊洋
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993302381
Publication number (International publication number)：1995130649
Application date： Nov. 08, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 原点出しのためのフォトスイッチ等を省略する。【構成】 保持盤6はY駆動シリンダ3によってXY平面内の移動領域をY軸方向へ移動し、X駆動シリンダ5によってX軸方向へ移動する。保持盤6の位置はこれと一体であるYミラー7とXミラー8の反射光を受光するY干渉計9とX干渉計10によって検出される。Yミラー7とXミラー8はそれぞれの一端に反射防止膜7a,8aを有し、Xミラー8の反射防止膜8aによってX干渉計10にエラー信号が発生したときY干渉計9の出力を所定の基準値に設定する。X干渉計10の原点出しも第2のY干渉計11のエラー信号によって同様に行う。

Claim (excerpt)：

一対の互に異なる方向にのびる反射面とともに移動する保持盤の位置を各反射面の反射光を受光する干渉計の出力に基づいて検出する位置決め方法であって、前記保持盤を一方の反射面ののびる方向に移動させながら該反射面の反射光を受光する干渉計から発生される所定の異常信号を検出する工程と、検出された異常信号に基づいて他方の反射面の反射光を受光する干渉計の出力を所定の基準値に設定する工程を有することを特徴とする位置決め方法。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  B23Q 16/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68