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J-GLOBAL ID：200903060114755069

振動ピックアップの校正装置

Inventor： 中村 直人 ,  古田 英二 ,  上田 守正 ,  胡 尚弥
Applicant, Patent owner： 株式会社アカシ
Agent (1)： 飯沼 義彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996087672
Publication number (International publication number)：1997222356
Application date： Mar. 15, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】 マイケルソン式干渉計を用いた振動ピックアップの校正装置の精度向上をはかる。【解決手段】 マイケルソン式干渉計における干渉縞検出部に、干渉縞の波形を180° 位相差信号として取り出すべく2個のホトトランジスタ15a〜15c,15b〜15dを配設し、各組みの出力の差動で信号を取り、同信号に基づき干渉縞の数をカウントすることにより、測定系の外乱(ノイズ)ヤトランジスタのドリフトに伴う計測誤差を抑制でき、測定精度の向上を可能にした。符号1は光源,2Aは分割鏡,4aは振動鏡を示す。

Claim (excerpt)：

振動ピックアップを取り付けられる加振機と、レーザ発光器と、上記振動ピックアップの端面に取付けられたミラーと、固定鏡としての参照鏡と、上記レーザ発光器から発光されたレーザ光を上記のミラーと参照鏡とに分割するビームスプリッタと、上記レーザ光の上記ミラーによる反射レーザ光と上記参照鏡による反射レーザ光とが干渉して生成した干渉縞を検出する光電変換素子とからなる光波干渉計をそなえ、上記光波干渉計の干渉縞の検出部に、同干渉縞を位相差180°の2つの波形信号として取り出すべく2個の光電変換素子が設けられ、同光電変換素子で取り出された位相差180°の信号を差動処理する信号処理回路と、同信号処理回路から取り出された信号に基づき上記干渉縞の数をカウントする計数手段とが設けられていることを特徴とする、振動ピックアップの校正装置。

IPC (3)：

G01H 9/00 ,  G01H 17/00 ,  G01P 21/00

FI (3)：

G01H 9/00 C ,  G01H 17/00 D ,  G01P 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-024819
  
• 特開昭49-019872
  
• 特開昭50-040184