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J-GLOBAL ID：200903060153583577

表面修飾石英ガラス及びその製造方法並びにその用途

Inventor： 樋高 宏昭 ,  橋本 眞吉
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999344845
Publication number (International publication number)：2001163638
Application date： Dec. 03, 1999
Publication date： Jun. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】密着性に優れるとともに熱衝撃性にも優れ、特にフッ素系のプラズマに対して高耐蝕性を示し、プラズマに晒されても長時間透明度を保持できる表面修飾石英ガラス及びこの表面修飾石英ガラスを容易に製造する方法、さらに、この表面修飾石英ガラスを用いた半導体製造装置用部材を提供する。【解決手段】ゾル-ゲル法により酸化アルミニウム被膜が石英ガラス表面に被覆されてなる表面修飾石英ガラス及びその製造方法並びにこの表面修飾石英ガラスを用いた半導体製造装置用部材を用いる。

Claim (excerpt)：

ゾル-ゲル法により酸化アルミニウム被膜が石英ガラス表面に被覆されてなる表面修飾石英ガラス。

IPC (2)：

C03C 17/25 ,  C03C 17/34

FI (2)：

C03C 17/25 A ,  C03C 17/34 Z

F-Term (11)：

4G059AA01 ,  4G059AA04 ,  4G059AB11 ,  4G059AC04 ,  4G059AC18 ,  4G059EA01 ,  4G059EB07 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12