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J-GLOBAL ID：200903060193304670

パターン欠陥検査方法及びそれを用いた金属薄板パターンエッチング製品の製造方法

Inventor： 中久木 秀樹 ,  小島 弘 ,  笠井 直樹 ,  岡崎 洋二 ,  谷澤 恵一
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996065851
Publication number (International publication number)：1997257640
Application date： Mar. 22, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】カゼインによる無色透明なレジスト材若しくはカゼインを含む透明のレジスト材により現像形成されたレジストパターンの欠陥を容易に検査できるようにすることにより、露光用パターンに発生するパターン欠陥を早期に検出する。【解決手段】カゼインを含む透明なレジスト材11を用いた金属薄板パターンエッチング製品の製造工程中におけるパターン露光・現像工程後の製造仕掛品である被検査物21に紫外線Lを照射し、識別不能な不可視状態に近いレジスト材11によるレジストパターンを蛍光発光させてレジストパターンの欠陥検査を行こと。また前記欠陥検査方法を用いて順次パターンを欠陥検査して、同一位置に同一欠陥が発生する場合に露光用パターン自体に欠陥があると判定することで欠陥不良品の連続製造を防止する。

Claim (excerpt)：

カゼイン若しくはカゼインを含む透明なレジスト材を用いた金属薄板パターンエッチング製品の製造工程中におけるパターン露光・現像工程後において、製造仕掛品である被検査物に紫外線照射を行うことで、通常では識別不能な不可視状態に近いカゼインレジスト材によるレジストパターンを蛍光発光させてレジストパターンの欠陥検査を行うことを特徴とするパターン欠陥検査方法。

IPC (7)：

G01M 11/00 ,  C23F 1/00 102 ,  C23F 1/08 ,  G01N 21/64 ,  G06T 7/00 ,  H01J 9/14 ,  H01J 9/42

FI (7)：

G01M 11/00 T ,  C23F 1/00 102 ,  C23F 1/08 ,  G01N 21/64 Z ,  H01J 9/14 G ,  H01J 9/42 A ,  G06F 15/62 405 A