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J-GLOBAL ID：200903060198263778

Pt合金電極形成用組成物、Pt合金電極及びPt合金電極パターン

Inventor： 内田 寛人 ,  齋 篤 ,  佐藤 正光 ,  小木 勝実
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995181777
Publication number (International publication number)：1997036062
Application date： Jul. 18, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 金属-炭素のδ又はπ結合を有するPt化合物と、同Ru化合物及び/又はIr化合物と有機溶剤とを含むPt合金電極形成用組成物。この組成物を基体に塗布して熱処理して形成したPt合金電極。この組成物を基体に塗布し、放射線でパターン露光後現像して熱処理して形成したPt合金電極パターン。【効果】 保存安定性、塗布性に優れる上に、易分解性であるため、比較的低温の熱処理により低抵抗かつ平滑で基板への密着性が高いPt合金電極を容易に形成することができる。また、放射線照射により容易にPtとRu及び/又はIrを析出させるため、放射線照射による露光後、現像して熱処理することにより、基板上にPt合金電極パターンを容易に形成することができる。

Claim (excerpt)：

金属-炭素のδ又はπ結合を有するPt化合物と、金属-炭素のδ又はπ結合を有するRu化合物及び/又は金属-炭素のδ又はπ結合を有するIr化合物と、有機溶剤とを含むことを特徴とするPt合金電極形成用組成物。

IPC (7)：

H01L 21/28 301 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/285 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 41/09

FI (6)：

H01L 21/28 301 R ,  H01L 21/28 B ,  H01L 21/285 S ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 41/08 L