Pat

J-GLOBAL ID：200903060236724741

ドライエアー供給システムおよび供給方法

Inventor： 大見 忠弘 ,  来島 貴彦 ,  松重 晴彦 ,  姫尾 和彦 ,  溝上 敏
Applicant, Patent owner： 大阪酸素工業株式会社
Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997297542
Publication number (International publication number)：1998232087
Application date： Oct. 29, 1997
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ドライエアー中の水分濃度を1ppb以下にすることができ、ハイドロカーボン(HC)を除去することができ、ドライエアーと同時に純窒素も製造することがあ可能なドライエアー供給システムを提供すること。【解決手段】 原料空気1を圧縮するための空気圧縮機2と、圧縮された空気から不純物を除去するための不純物除去装置6と、空気を冷却し液化するための手段(主熱交換器)14と、液化した空気を精留して純窒素を分離するための精留塔9と、分離した純窒素をガス化して窒素ユースポイント16へ供給するための窒素供給ライン8と、窒素を分離した後の残余部分をガス化して代用ドライエアーとしてドライエアーユースポイント15へ供給するためのドライエアー供給ライン7を設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

原料となる空気および/または代用ドライエアー(以下「空気等」という)を導入する原料導入部と、該空気等を圧縮するための空気圧縮機と、圧縮された空気等から不純物を除去するための不純物除去装置と、液化した空気等を精留して純窒素を分離するための精留塔と、該不純物除去装置と該精留塔とをつなぐメインラインと、該メインライン途中において該空気等を冷却し液化するための手段と、分離した純窒素をガス化して窒素ユースポイントへ供給するための窒素供給ラインと、窒素を分離した後の残余部分をガス化して代用ドライエアーとしてドライエアーユースポイントへ供給するための代用ドライエアー供給ラインと、を有していることを特徴とするドライエアー供給システム。

IPC (3)：

F25J 3/04 103 ,  F17D 1/04 ,  H01L 21/02

FI (3)：

F25J 3/04 103 ,  F17D 1/04 ,  H01L 21/02 D