Pat
J-GLOBAL ID：200903060251377667
走査型近接場光学顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995028194
Publication number (International publication number)：1996220113
Application date： Feb. 16, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】光学顕微鏡観察と原子間力顕微鏡観察と走査型近接場光学顕微鏡観察を行なえる装置を提供する。【構成】チューブスキャナー11の自由端に固定された試料台12は、矩形管形状で、試料13が載る部分は透明となっている。試料台12の内側には、ミラー台10に固定された全反射ミラー9が配置されている。試料13の近くには、先端に微小開口を有するプローブを自由端に備えた、原子間力を検出するためのカンチレバー14が配置されている。透過型光学顕微鏡観察のためのケーラー照明系と結像光学系を有している。近接場光学顕微鏡観察のためのエバネッセント波発生系とエバネッセント波検出系を有している。結像光学系とエバネッセント波発生系は対部レンズ15を共有している。ケーラー照明系とエバネッセント波検出系は可動全反射ミラー4の位置を変えることで一方が選択される。
Claim (excerpt)：
光を透過する微小開口を先端に有するプローブを自由端に備えたカンチレバーであり、このカンチレバーはプローブ先端と試料表面の間に作用する力に応じて弾性変形し、その結果としてプローブが変位する、カンチレバーと、プローブが試料表面を横切るように走査する走査手段と、プローブの変位を検知する変位検知手段と、試料に光を照射し、その透過光を結像させる透過型光学顕微鏡光学系と、試料に微小開口を介して光を照射し、試料を透過した光を検知する近接場光学顕微鏡光学系と、透過型光学顕微鏡光学系と近接場光学顕微鏡光学系の一方を選択的に使用可動な状態に切り替える切替手段とを備えていて、変位検知手段と透過型光学顕微鏡光学系と近接場光学顕微鏡光学系は対物レンズを共有している、走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 37/00
, G01B 11/00
, G02B 21/00
, H01J 37/28
G01N 37/00 D
, G01B 11/00 A
, G02B 21/00
, H01J 37/28 Z
