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J-GLOBAL ID：200903060258427350

貼り合わせ装置

Inventor： 片保 秀明 ,  梅津 寛 ,  油田 国夫
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 影井 俊次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996089935
Publication number (International publication number)：1997258234
Application date： Mar. 21, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 上下の部材を位置合わせする際に、フローティング機能に支障を来すことなく、アライメントマークをテレビカメラで鮮明に撮影するための光源をフローティング機構に組み込む。【解決手段】 下側吸着手段20は真空吸着台22と、この真空吸着台22に連設した凸球面状の球形部23からなり、球形部23は球面座24の上に嵌合することによりフローティング機構が構成される。真空吸着台22には、アライメントマークM1 ,M2 の部位を下方から照明するために、光源ランプ31からの照明光を伝送する導光部材33が真空吸着台22の側面に対向配設され、真空吸着台22にはライトガイド34が設けられ、ライトガイド34の入射端34aは導光部材33の出射端33bに対面し、出射端34bは真空吸着台22の表面において、TFT基板1のアライメントマークM1 の下部位置に臨んでいる。

Claim (excerpt)：

下側部材をフローティング部材の真空吸着部に装着し、真空吸着手段に吸着させた上側部材を下側部材の上部位置に配置して、それぞれに設けたアライメントマークを基準として位置合わせを行った上で、両部材を相互に接合させて、両部材を貼り合わせるものであって、これら下側部材、上側部材及び真空吸着手段を透明乃至半透明の部材から形成すると共に、真空吸着手段の上方に画像認識用のテレビカメラを設置し、前記真空吸着部には、その下側部材のアライメントマークが位置する部位の下部に照明光の出射端面が臨み、入射端面が側面に臨む光ファイバからなるライトガイドを装着し、この入射端面に非接触で光源を対向配設する構成としたことを特徴とする貼り合わせ装置。