Pat

J-GLOBAL ID：200903060260890750

光偏向素子

Inventor： 川窪 功 ,  江刺 正喜
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社 ,  江刺 正喜
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995139477
Publication number (International publication number)：1996334723
Application date： Jun. 06, 1995
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 従来の光偏向素子の様な大きくて組立が煩雑である問題を克服した、組立が簡単で小型で簡便な光偏向素子を提供すること。【構成】 平板状の可動板2と、該可動板を軸支するねじりバネ3と、該ねじりバネを通じて該可動板を支持する固定枠20で一体形成した半導体基板1と、該可動板の上周縁部に沿って設けられた平面コイル5と、該可動板の中央に設けられた反射鏡4と、該半導体基板の上面に設けられた上側絶縁基板11と、該半導体基板の下面に設けられた下側絶縁基板12と、該ねじりバネのねじり軸にほぼ平行なコイルの辺の位置において該半導体基板の面に平行であり、且つ該ねじりバネの回転軸方向に垂直な成分を有する磁界を持つ、該上側絶縁基板または該下側絶縁基板のいずれか一方に固定された永久磁石8とを有する光偏向素子。

Claim (excerpt)：

平板状の可動板と前記可動板を軸支するねじりバネと前記ねじりバネを通じて前記可動板を支持する固定枠とを一体形成した半導体基板と、前記可動板の上周縁部に沿って設けられた平面コイルと、前記可動板の中央部に設けられた反射鏡と、前記半導体基板の下面に設けられた下側絶縁基板と、前記半導体基板の上面に設けられた上側絶縁基板と、前記ねじりバネのねじり軸にほぼ平行なコイルの部分において前記半導体基板の面に平行であり、かつ前記ねじりバネの回転軸方向に垂直な方向の成分を有する磁界を持ち、前記上側絶縁基板または前記下側絶縁基板のいずれか一方に固定された永久磁石と、を具備することを特徴とする光偏向素子。

IPC (3)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/08

FI (3)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 C ,  G02B 26/08 E