ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999338487
Publication number (International publication number)：2001154361
Application date： Nov. 29, 1999
Publication date： Jun. 08, 2001
Summary：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において、レジストパターンのエッジラフネスが改善され、更に保存性及び疎密依存性に優れたポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】(A)特定の構造で表される酸を発生する化合物、(B)特定のシリコン含有繰り返し単位と、特定の構造の繰り返し単位のうち少なくともいずれかの繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する酸分解性樹脂、(C)特定の溶剤、(D)有機塩基性化合物、及び(E)特定構造の界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物(B)少なくとも下記一般式(I)で表される繰り返し単位と、下記一般式(IIa)及び(IIb)で表される繰り返し単位のうち少なくともいずれかの繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂(C)下記溶剤A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤B群から選択される少なくとも1種、もしくは溶剤A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤C群から選択される少なくとも1種とを含有する混合溶剤A群:プロピレングリコールモノアルキルエーテルアルコキシレートB群:プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキル及びアルコキシアルキルプロピオネートC群:γ-ブチロラクトン、エチレンカーボネート及びプロピレンカーボネート(D)有機塩基性化合物(E)フッ素系、シリコン系およびノニオン系から選択される少なくとも1つの界面活性剤、を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式(I)中、M1は結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していても良い脂環式構造を形成するための原子団を表す。nは1又は2を示す。Lは一方が環を形成する炭素原子に連結する、単結合またはn+1価の連結基を表す。R'、R''、R'''はそれぞれ独立に直鎖または分岐を有するアルキル基、フェニル基、トリアルキルシリル基またはトリアルキルシリルオキシ基を表す。【化2】式(IIa)及び(IIb)中、Zは酸素原子、-N(R3)-を表す。R3は水素原子、水酸基、直鎖もしくは分岐を有するアルキル基または-O-SO2-R4を表す。R4はアルキル基またはトリハロメチル基を表す。X1、X2は、それぞれ独立に酸素原子、イオウ原子、-NH-または-NHSO2-を表す。A1、A2はそれぞれ独立に単結合または2価の連結基を表す。R1、R2は、それぞれ独立に水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、置換されていても良いアルキル基、置換されていても良いアルコキシ基または置換されていても良い環状炭化水素基(環を形成する結合中にエステル基またはカルボニル基を有していても良い)を表す。R5は置換基を有していても良いアルキル基または置換基を有していても良い環状炭化水素基(環を形成する結合中にエステル基またはカルボニル基を有していても良い)を表す。R6は置換基を有していても良いアルキル基を表す。

IPC (13)：

G03F 7/039 601 , C08F222/10 , C08F222/38 , C08F222/40 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08K 5/06 , C08K 5/07 , C08K 5/10 , C08L 43/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (13)：

G03F 7/039 601 , C08F222/10 , C08F222/38 , C08F222/40 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08K 5/06 , C08K 5/07 , C08K 5/10 , C08L 43/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

F-Term (99)：

2H025AA00 , 2H025AA03 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002EB006 , 4J002EE037 , 4J002EH007 , 4J002EH157 , 4J002EL067 , 4J002EU048 , 4J002EU118 , 4J002EU138 , 4J002EU186 , 4J002EU226 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD319 , 4J002GP03 , 4J100AJ09Q , 4J100AK32Q , 4J100AL34Q , 4J100AL36Q , 4J100AL39Q , 4J100AL41Q , 4J100AM39Q , 4J100AM43Q , 4J100AM45Q , 4J100AM47Q , 4J100AR05P , 4J100AR09P , 4J100AR09R , 4J100AR11P , 4J100AR11R , 4J100AR31P , 4J100AR32P , 4J100BA02Q , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA05Q , 4J100BA05R , 4J100BA06Q , 4J100BA06R , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BA15R , 4J100BA16P , 4J100BA16Q , 4J100BA16R , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BA20R , 4J100BA34Q , 4J100BA34R , 4J100BA35R , 4J100BA40Q , 4J100BA40R , 4J100BA53Q , 4J100BA56R , 4J100BA58Q , 4J100BA58R , 4J100BA59Q , 4J100BA72P , 4J100BA80P , 4J100BB01R , 4J100BB18Q , 4J100BC04Q , 4J100BC08Q , 4J100BC08R , 4J100BC09Q , 4J100BC09R , 4J100BC12Q , 4J100BC12R , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100CA05 , 4J100JA38

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