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J-GLOBAL ID：200903060287888587

ヘリコン波を発生することができる誘導性アンテナを内部に有するプラズマリアクター

Inventor： イェ ヤン ,  ダムブラ アレン ,  モク イェウク-ファイ エドウィン ,  レミントン リチャード イー ,  サモンズ ジェイムズ イー ザ サード
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外9名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001505038
Publication number (International publication number)：2003502822
Application date： Jun. 19, 2000
Publication date： Jan. 21, 2003
Summary：

【要約】本発明は、プラズマを生成するためのヘリコン波を発生することができる内部の誘導性アンテナを用いる。本発明の1つ実施の形態は、チャンバのベル形状部分内に固定されたループ型アンテナを用いる。他の実施の形態は、チャンバ内に固定された平面コイル型アンテナを用いる。公的な実施の形態においては、本発明の内部アンテナはアンテナがスパッタリングされないように構成される。このアンテナは、非スパッタリングの導電性材料、ジャケットによって部分的にまたは完全に囲まれた導電性材料から形成される。1つの実施の形態において、アンテナによって発生された熱がジャケットとチャンバの間を伝導によって伝達されるように、非スパッタリングジャケットはチャンバ壁に結合される。恐らく、非スパッタリングジャケットは、導電性堆積物に渦電流が流れないようにセグメント化される、プラズマに曝されたアンテナの表面に電気的絶縁性の材料から形成される。ギャップがアンテナの露出した表面を分離し、その結果導電性堆積物が分離した表面を接合せず、一方、ギャップ内でのプラズマの発生を防止する。チャンバの一部または全部が電気的導電性及び熱的伝導性の材料か構成される。

Claim (excerpt)：

プラズマリアクターであって、 a)プラズマで処理するための、内部にワークピースを保持するのに適したチャンバを画定する壁、 b)前記プラズマを生成するためのヘリコン波を発生することができる誘導性アンテナ、及び c)前記チャンバの壁の内部に固定された前記アンテナ、を有することを特徴とするプラズマリアクター。

IPC (2)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/3065

FI (2)：

H05H 1/46 L ,  H01L 21/302 B

F-Term (4)：

5F004BA20 ,  5F004BB07 ,  5F004BB32 ,  5F004DB08