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J-GLOBAL ID：200903060300034142

モータ装置及びモータ装置の組み立て方法、並びに露光装置

Inventor：
田中 慶一

About 田中 慶一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999117469
Publication number (International publication number)：2000312465
Application date： Apr. 26, 1999
Publication date： Nov. 07, 2000
Summary：
【要約】【課題】 電磁力駆動方式のモータ装置において、周囲への磁気的な悪影響を低減しつつ、駆動性能を向上する。【解決手段】 可動子51を構成する磁極ユニット59において、第1の磁石群を構成する垂直磁化された複数の磁石と、第2の磁石群を構成し、第1の磁石群を構成する磁石に隣接する、水平磁化された複数の磁石から成るとを、電機子ユニット61に対向する側と反対側において磁性体部材によって磁気的に結合し、第1の磁石群を構成する磁石と第2の磁石群を構成する磁石とを起磁力源とし、磁極ユニット59の電機子ユニット61に対向する側と反対側への漏れ磁束が低減される磁気回路を構成する。
Claim (excerpt)：
電機子ユニットと、該電機子ユニットに対向する磁極ユニットとを備え、電磁相互作用によって前記電機子ユニットと前記磁極ユニットとを相対移動させるモータ装置において、前記磁極ユニットは、前記磁極ユニットの前記電機子ユニットに対する対向面に沿って所定間隔で配設され、前記対向面とほぼ直交する方向に磁化された複数の磁石から成る第1の磁石群と;前記第1の磁石群を構成する磁石に隣接し、前記対向面とほぼ平行な方向に磁化された複数の磁石から成る第2の磁石群と;前記第1の磁石群を構成する各磁石の前記電機子ユニットに対向する側と反対側に設けられた磁性体部材とを備えることを特徴とするモータ装置。
IPC (4)：
H02K 41/03 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (4)：
H02K 41/03 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A
F-Term (23)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA57 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC19 ,  5H641BB03 ,  5H641BB10 ,  5H641BB15 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG08 ,  5H641GG11 ,  5H641HH03 ,  5H641HH13 ,  5H641JA07 ,  5H641JA09 ,  5H641JA18 ,  5H641JB09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 特開昭58-175020
  • 磁気回路
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-212218   Applicant：日立金属株式会社
  • リニアモータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-190645   Applicant：日立金属株式会社
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