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J-GLOBAL ID：200903060335680330
外観検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丹羽 宏之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995057408
Publication number (International publication number)：1996254500
Application date： Mar. 16, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】 プリント基板上の部品の実装状態などを検査するための外観検査装置において、簡易な構成で、下地色と似通った色の検査対象や高さの大きな部品の影に入るような検査対象でも輪郭を容易に抽出でき、精度の高い検査を行えるようにする。【構成】 撮像素子としてCCDラインセンサ2を設け、このセンサ2と各照明装置5,6を支持したフレーム7を走査ガイド8に沿って移動させて被検査物であるプリント基板1を走査し、プリント基板1の画像をモニタ画面に表示させる。このとき、まず第1の照明装置5により、プリント基板1への照明光の方向がプリント基板1で反射してラインセンサ2に向かう反射光と同一方向となるようにプリント基板1を照明し、この照明下での第1の画像を得る。次に、第2の照明手段6により、上記照明光の方向がラインセンサ2に向かう反射光と異なる方向となるようにプリント基板1を照明し、この照明下での第2の画像を得る。そして、これらの画像からプリント基板1上の部品の実装状態を検査する。
Claim (excerpt)：
被検査物を撮像素子により走査してその外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であって、前記照明手段は、被検査物を照明する照明光の方向が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反射光と同一方向となるように照明することを特徴とする外観検査装置。
IPC (5)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G01N 21/84
, G06T 7/00
, H01L 21/66
G01N 21/88 F
, G01B 11/24 C
, G01N 21/84 E
, H01L 21/66 J
, G06F 15/62 405 B
Cited by examiner (7)
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