半導体記憶装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993037757
Publication number (International publication number)：1994252413
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】この発明はメモリセルトランジスタの信頼性を損なわずに、メモリセルトランジスタの集積度を向上させることができる半導体記憶装置を提供しようとするものである。【構成】シリコン基板内に行列状に配置されて形成され、ゲ-ト電極とチャネル領域との間にしきい値を可変に調節するための浮遊ゲ-トを有したメモリセルトランジスタAを有し、行方向に隣接するメモリセルトランジスタAのドレイン拡散層6相互間に対応して基板内に形成され、行方向に隣接するメモリセルトランジスタのチャネル領域12相互間に対応した基板内には実質的に形成されないトレンチ11を具備することを主要な特徴としている。上記構成であると、トレンチ11がチャネル領域12に沿って形成されないために、リ-ク電流の発生、ストレスおよび汚染等のメモリセルトランジスタの信頼性を低下させる要因を排除できるようになり、信頼性を損なわずにその集積度を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

第1導電型の半導体基体内に行列状に配置されて形成され、ゲ-ト電極とチャネル領域との間にしきい値を可変に調節するための電荷蓄積層を有した絶縁ゲ-ト型FETで成るメモリセルトランジスタと、行方向に隣接する前記メモリセルトランジスタのドレインとなる第2導電型の電極層相互間に対応して前記基体内に形成され、前記行方向に隣接する前記メモリセルトランジスタのチャネル領域相互間に対応した前記基体内には実質的に形成されないトレンチとを具備することを特徴する半導体記憶装置。

IPC (4)：

H01L 29/788 , H01L 29/792 , H01L 21/76 , H01L 27/115

FI (2)：

H01L 29/78 371 , H01L 27/10 434

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭59-061189
特開昭59-061189
特開平2-275668

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