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J-GLOBAL ID：200903060358426997

観察装置

Inventor： 山内 豊彦 ,  岩井 秀直
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (4)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟 ,  柴田 昌聰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008056770
Publication number (International publication number)：2009210542
Application date： Mar. 06, 2008
Publication date： Sep. 17, 2009
Summary：

【課題】フロ-セルを流れる流体に含まれる検査対象物の位相像を高スループットで観察することができる観察装置を提供する。【解決手段】観察装置1Aは、光源部10、撮像部20、解析部30、表示部40およびフローセル90等を備える。光源部10は、コヒーレンス長が短い白色光を出力する。撮像部20は、ハーフミラーHM12から出力される干渉光のうち干渉縞に直交する方向について限定された範囲の干渉光の像を取得する。解析部30は、撮像部20により得られる像におけるフロ-セル90における流体の流れの方向に直交する第1方向の各位置について、この第1方向に直交する第2方向の干渉縞の強度分布に対して1次元空間的フーリエ変換を行って、フロ-セル90を流れる流体に含まれる検査対象物の位相像を得る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検査対象物を含む流体を流すフローセルと、 光を出力する光源部と、 前記光源部から出力される光を2分岐して検査光および参照光として出力する分岐部と、 前記分岐部から出力される検査光の光路が前記フローセルにおける前記流体の流れと交わるように該検査光を導く検査光学系と、 前記分岐部から出力される参照光を導く参照光学系と、 前記検査光学系により導かれる検査光と前記参照光学系により導かれる参照光とを互いに干渉させ、前記フロ-セルにおける流体の流れの方向に交叉する干渉縞を生じさせて、当該干渉光を出力する干渉部と、 前記干渉部から出力される干渉光のうち干渉縞に直交する方向について限定された範囲の干渉光の像を取得する干渉縞取得部と、 前記干渉縞取得部により得られる像における前記フロ-セルにおける流体の流れの方向に直交する第1方向の各位置について、この第1方向に直交する第2方向の干渉縞の強度分布に対して1次元空間的フーリエ変換を行って、前記フロ-セルを流れる流体に含まれる検査対象物の位相像を得る解析部と、 を備えることを特徴とする観察装置。

IPC (3)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/17 ,  G01N 21/45

FI (3)：

G01N21/27 A ,  G01N21/17 A ,  G01N21/45 A

F-Term (19)：

2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB13 ,  2G059BB14 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE09 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04