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J-GLOBAL ID：200903060366417654

低応力膜を与える組成物

Inventor： 松岡 嘉夫 ,  向田 均
Applicant, Patent owner： 旭化成工業株式会社
Agent (1)： 清水 猛 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994054771
Publication number (International publication number)：1995242744
Application date： Mar. 02, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】【構成】 ポリアミド酸エステルの化学構造を持ち、特定の感光基濃度、特定のアミド結合濃度を有し、かつ加熱硬化して得られるポリイミド塗膜のイミド結合濃度が特定の範囲にある感光性ポリイミド前駆体及びこれを含む組成物。【効果】 上記前駆体から残留応力が低く、かつ高解像度のポリイミドのパターンが得られ、このポリイミドは高い伸度を持ち、基材との接着力に優れ、同時に耐水性が高い。

Claim (excerpt)：

下式〔1〕で示される繰り返し単位を有し、【化1】で表わされる化学構造基の濃度が0.8モル/kg以上であり、かつアミド結合の濃度が3.3〜5.0モル/kgの範囲にあるポリマーであって、これを加熱硬化して得られる下式〔2〕で示される繰り返し単位を有するポリイミドのイミド結合の濃度が5.0〜5.7モル/kgの範囲にあることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体。【化2】【化3】(式中、X及びYは前と同じである。)

IPC (4)：

C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504 ,  C08F299/02 MRU