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J-GLOBAL ID：200903060369437974

カーボンヒーター

Inventor： 木村 昇 ,  久保田 芳宏 ,  原田 今朝治 ,  佐藤 健司
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991321300
Publication number (International publication number)：1993135858
Application date： Nov. 08, 1991
Publication date： Jun. 01, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は半導体製造装置などにおいて基板などを加熱するのに有用とされる、コンパクトで高耐熱性のカーボンヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のカーボンヒーターは、主成分が固有抵抗 1,600μΩcm以上であるカーボン材よりなるものであることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

主成分が固有抵抗 1,600μΩcm以上のカーボン材よりなるものであることを特徴とするカーボンヒーター。