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J-GLOBAL ID：200903060391288206

ダイヤモンド状炭素フィルムの大型で低圧力のプラズマイオン付着

Inventor： ウェイ、 ロングアー・アール ,  マトッシャン、 ジェス・エヌ
Applicant, Patent owner： エイチイー・ホールディングス・インコーポレーテッド・ドゥーイング・ビジネス・アズ・ヒューズ・エレクトロニクス
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997515142
Publication number (International publication number)：1998500391
Application date： Oct. 09, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：

【要約】排気され炭素質ガスを充填された付着装置(40)中において付着基体(46)上にダイヤモンド状炭素が付着される。プラズマ(68)は、容器(42)内のフィラメント(62)を加熱してガス中に電子を発生し、付着容器壁(44)に関してフィラメント(62)を正にバイアスして電子を炭素質ガス中へ加速することによって発生される。炭素質ガスは正に帯電された炭素イオンを発生するため結果として生じるプラズマ(68)を分解してイオン化する。容器(42)内の付着基体(46)は付着容器壁(44)に関して負にバイアスされ、炭素イオンを加速し、それによってこれらは基体(46)の表面に付着される。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド状炭素フィルムを付着基体に付着する方法において、 付着基体を設け、 約0.01乃至約10ミリトルの圧力を有し、付着基体に接触する炭素質のガス中においてプラズマを発生し、 プラズマから基体へダイヤモンド状炭素フィルムを付着し、基体は約300°Cを越えない温度に維持するステップを有する付着方法。

IPC (6)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  C01B 31/02 101 ,  H05H 1/46

FI (6)：

C30B 29/04 W ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  C01B 31/02 101 Z ,  H05H 1/46 A