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J-GLOBAL ID：200903060442679000

圧電基板、その製造方法および圧電素子

Inventor： 丸山 裕 ,  小島 信行 ,  山川 孝宏 ,  江崎 徹
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社 ,  太平洋セメント株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998051307
Publication number (International publication number)：1999233848
Application date： Feb. 18, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】 電気接点として高信頼性であり、確実な接触がはかられ均一に密着接触が可能となる圧電基板およびそれを用いた圧電素子を提供する。【解決手段】 圧電材料からなり、外部電気基板などの電極面と電気的に接続するスルーホール電極2を有し、該スルーホール電極2が圧電基板6の表面より1μm以上突き出した突出部分を有し、かつ該突出部分の表面あらさが2μm以下である圧電基板6およびそれを用いた圧電素子。

Claim (excerpt)：

圧電材料からなり、外部の電極面と電気的に接続するスルーホール電極を有する圧電基板において、該スルーホール電極が圧電基板面より1μm以上突き出した突出部分を有し、かつ該突出部分の表面あらさが2μm以下であることを特徴とする圧電基板。

IPC (2)：

H01L 41/22 ,  H01L 41/083

FI (2)：

H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 積層セラミックス圧電体素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-034310   Applicant：日本セメント株式会社, キヤノン株式会社
• 超音波モータのステータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-316028   Applicant：アスモ株式会社
• 圧電トランス及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-074099   Applicant：日本電気株式会社
• 積層圧電素子及びその製造方法並びに分極処理方法、及び超音波モータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-267551   Applicant：キヤノン株式会社